1. 软件的基本使用
1.1 运行软件
1.2 生成一个简单的设计
1.3 绘图,三维绘图和表格特性
1.4 重叠交互式绘图
1.5 指定设计的公式
1.6 通过剪切板和文件来导入导出数据
2. 常规-软件中几个术语的定义
2.1 厚度类型(物理厚度,光学厚度[FWOT, QWOT],几何厚度)
2.2 怎么定义软件中变量的单位
2.3 软件中怎么插入数据
2.4 支持的材料模型
3. 设计膜系:设计不同膜系的技术
3.1 斜入射薄膜
3.2 颜色模型(三基色,色度,CIE L*A*B*, CIE L*U*V*,主波长)
3.4 抗反膜
3.5 短波通/长波通滤波器
3.6 带通滤波器
3.7 干涉截止滤光片
3.8 窄带滤光片
3.9 负滤光片
3.10 诱导传输滤波器
3.11 优化:
a) 优化目标
b) 优化方法(简单优化法,优化,模拟退火法,共轭梯度法,四分之一牛顿法,插针法,差分进化法)
c) 锁层和层链接
d) 基底影响
e) 锥角和带宽计算
f) 简单公差
4. Runsheet:在薄膜沉积过程中使用光学监控器来计算目标信号
4.1 简单光学监控器的描述
4.2 工具因子
4.3 机器配置-指定镀膜设备的特性
4.4 运行表单-在制造过程中显示目标监控信号
4.5 截止滤波器设计案例
5. Simulator:沉积过程建模决定运行表单是否完整或对误差敏感
5.1 在模拟器中不同类型的随机误差
5.2 光学监控算法的控制
5.3 边缘滤波器例子
6. 光学常数
6.1 导出薄金属薄膜和其他吸收薄膜的光学常数
6.2 基底光学常数的提取
6.3 采用光谱测量来计算基底的光学常数
7. 反演工程
7.1 加工过程中两种主要的误差类型(系统误差,随机误差)
7.2 采用反演工程来控制在实际加工制造过程中膜系设计的研究
8. 报告生成器
8.1 可定制的打印输出
8.2 控制打印输出说明:页面显示、表格、绘图、包含其他文件和数据源
9. 光学薄膜的颜色
9.1 颜色及其特性计算
9.2 具有颜色效果的薄膜和最优的颜色刺激
9.3 Macleod软件的颜色计算功能
10. 一些应用例子
10.1 太阳能光热吸收薄膜设计分析
10.2 应力、散射及均匀性分析
Q&A:学员有机会提自己关心的课题作为补充话题。
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